Scandiumnitrid wird in der Halbleiterindustrie unter anderem bei elektronischen Bauelementen wie Feldeffekttransistoren als Gate-Material eingesetzt, da es sich gut auf die Isolationsschichten wie Siliziumdioxid (SiO2) oder Hafniumdioxid (HfO2) aufbringen lässt.[5] Weiters wird es als Legierungsbestand bei Nichteisenmetallen eingesetzt.[1]
↑ZhengGu,J HEdgar,JPomeroy,MKuball,D WCoffey:Crystal Growth and Properties of Scandium Nitride. In: Journal of Materials Science: Materials in Electronics. 15. Jahrgang, Nr.8, August 2004, S.555–559, doi:10.1023/B:JMSE.0000032591.54107.2c (englisch).
↑HyundoekYang,SunghoHeo,DongkyuLee,SangmooChoi,HyunsangHwang:Effective Work Function of Scandium Nitride Gate Electrodes on SiO2 and HfO2. In: Japanese Journal of Applied Physics. 45. Jahrgang, Nr.2, 13.Januar 2006, S.L83–L85, doi:10.1143/JJAP.45.L83 (englisch).