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Datei:Spacer Patterning.JPG

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Spacer_Patterning.JPG (393 × 576 Pixel, Dateigröße: 19 KB, MIME-Typ: image/jpeg)

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Beschreibung

Beschreibung
English: Spacer patterning:
  • First pattern
  • Deposition of mask material
  • Etching to form sidewall spacers
  • Removal of first pattern
  • Etching using remaining spacers as mask
  • Removal of spacers, leaving final pattern
Datum
Quelle Eigenes Werk (Original-Bildunterschrift: „
Own work
“)
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Urheber Guiding light at en.wikipedia
Andere Versionen
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Der vollständige Text der Lizenz ist im Kapitel GNU-Lizenz für freie Dokumentation verfügbar.

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Ursprüngliches Datei-Logbuch

Die ursprüngliche Dateibeschreibungsseite war hier. Alle folgenden Benutzernamen beziehen sich auf en.wikipedia.
  • 2008-03-08 14:07 Guiding light 393×576× (19013 bytes) Spacer patterning: * First pattern * Deposition of mask material * Etching to form sidewall spacers * Removal of first pattern * Etching using remaining spacers as mask * Removal of spacers, leaving final pattern

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Version vomVorschaubildMaßeBenutzerKommentar
aktuell15:16, 6. Nov. 2011Vorschaubild der Version vom 15:16, 6. Nov. 2011393 × 576 (19 KB)File Upload Bot (Magnus Manske) {{BotMoveToCommons|en.wikipedia|year={{subst:CURRENTYEAR}}|month={{subst:CURRENTMONTHNAME}}|day={{subst:CURRENTDAY}}}} {{Information |Description={{en|Spacer patterning: * First pattern * Deposition of mask material * Etching to form sidewall spacers * R

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