Flächenwiderstand

Flächenwiderstand

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Der Flächenwiderstand $Rf$ lässt sich nach untenstehender Gleichung definieren.

Fehler beim Parsen (SVG (MathML kann über ein Browser-Plugin aktiviert werden): Ungültige Antwort („Math extension cannot connect to Restbase.“) von Server „http://localhost:6011/de.wikipedia.org/v1/“:): {\displaystyle Rf=\frac{\rho}{d}}

$Rf$ ist der Flächenwiderstand er erhält die Einheit $[\Omega ]$

$\rho$ ist der spezifische elektrische Widerstand er erhält die Einheit $[\Omega m]$

$d$ die Schichtdicke der Probe erhält die Einheit $[m]$

Die Einheit des Flächenwiderstandes ist gleich der Einheit des Widerstandes. Manchmal wird deshalb beim Flächenwiderstand ${\frac {\Omega }{\Box }}$ angegeben.

In der Umkehrung der obigen Formel kann man über den Flächenwiderstand auch den spezifischen elektrischen Widerstand bestimmen, falls die Schichtdicke bekannt ist. Oder bei bekanntem $\rho$ die Schichtdicke einer leitenden Schicht auf einem isolierenden Substrat bestimmen.