Siliciumdioxid

Siliziumdioxid ist eine chemische Verbindung mit der Summenformel SiO₂. Es ist auch bekannt unter dem Namen Quarzglas. Das Mineral Quarz besteht in seiner Reinform aus Siliziumdioxid.

Quarzglas wird in der Optik in Form von Linsen, Prismen, etc. verwendet. In der Mikro- oder Nanosystemtechnik häufig auch als Maskentträger, als Gateoxid im MOSFET und als Isolierschichent in ICs (integrierten Schaltkreisen).

Siliziumdioxid bildet in Form von Silikaten wie z. B. Feldspat, Tonmineralien oder in freier Form als Quarz den Hauptbestandteil der Erdkruste. Diese befinden sich im Kreislauf von Neubildung und Zersetzung: Silikate reagieren mit Kohlendioxid und zerfallen zu Siliziumdioxid und Karbonaten in einem sehr langsamen chemischen Prozess.