Extrem ultraviolette Strahlung
Extrem Ultraviolette Strahlung (XUV) bezeichnet den Spektralbereich zwischen ca. 1 nm bis 50 nm. Dies entspricht Photonenenergien zwischen ca. 20 eV und 100 eV. XUV bezeichnet daher den Bereich elektomagnetischer Strahlung zwischen Vakuum-Ultraviolett (VUV-Strahlung) und Röntgenstrahlung.
Der gesamte Spektralbereich der Extrem ultravioletten Strahlung wird üblicherweise mit "XUV" abgekürzt. Für zwei Teilbereiche des XUV haben sich spezielle Bezeichnungen durchgesetzt:
weiche Röntgenstrahlung
Der Spektralbereich zwischen 2,4 und 4,4 nm, das sogenannte Wasserfenster, ist besonders für Röntgenmikroskopie interessant und wird deshalb auch als "weiche Röntgenstrahlung" bezeichnet.
EUV-Strahlung
EUV-Strahlung ist die Abkürzung für den Teil-Spektralbereich der XUV, der für die geplante EUV-Lithographie nutzbar ist. EUV bezeichnet den Bereich, um die international zwischen den F&E-Beteiligten vereinbarte Zentralwellenlänge von 13,5 nm. Für die Lithographie kann üblicherweise nur eine Bandbreite von ca. 2 % genutzt werden. Die Abkürzung wird aber auch häufig für den Bereich zwischen der Silizium-L-Kante (ca. 12,4 nm) bis hin zu ca. 20 nm verwendet.
Die Halbleiterindustrie plant, ab ca. 2011 Chips mit EUV-Strahlung herzustellen EUV-Lithographie.
EUV-Strahlung bietet aufgrund der kurzen Wellenlänge und der starken Wechselwirkung mit Materie das Potential der Analyse und Strukturerzeugung mit Nanometer-Auflösung und typisch mehrerer hundert Nanometer Eindringtiefe.