Rasterkraftmikroskop

Das Rasterkraftmikroskop, engl. Atomic Force Microscope; Abkürzungen RKM, AFM.
Entwickelt von [[G. Binnig und H. Rohrer, 1986.
Mikroskop zur mechanischen Abtastung von Oberflächen auf der Nanometerskala. Dabei wird eine, an einer Blattfeder befestigte, Nadel zeilenweise über die Oberfläche geführt. Durch die Struktur der Oberfläche wird dabei die Blattfeder verbogen. Diese Verbiegungen können mit kapazitiven oder optischen Sensoren gemessen werden. Der Krümmungsradius der Spitzen beträgt dabei typischerweise 10 - 20 nm, was je nach Rauhigkeit der Oberfläche Auflösungen von 0,1 - 10 nm erlaubt.