Schwefelhexafluorid

Schwefelhexafluorid (SF₆) ist ein farbloses, geruchloses und sehr reaktionsträges Gas. Das Molekulargewicht beträgt 146,054 g/mol. Der Schmelzpunkt liegt bei -50,8 °C. Der Sublimationspunkt bei -63,8 °C. Wegen seiner Struktur (koordinative Sättigung und sterische Hinderung) ist es sehr reaktionsträge und verhält sich chemisch wie ein Edelgas. Deswegen wird es als Isolationsgas in der Hochspannungstechnik eingesetzt, z.B. in Hochspannungsschaltern. Geringe dielektrische Verluste machen es als Schutzgas in Koaxialkabeln geeignet. Als thermisches Isoliergas wurde SF₆ in Isolierglasscheiben verwendet. Weiterhin wird SF₆ in Halbleiter-, Displaytechnik und Mikrotechnik eingesetzt. Im Halbleiterbereich dient es als Ätzgas und wird als Isoliergas beim Routinetesten mikroelektronischer Schaltkreise im Rahmen der Qualitätssicherung verwendet. Außerdem wird es zum Reinigungsätzen eingesetzt. Dies ist auch das primäre Einsatzgebiet von SF₆ im Display-Bereich. In der Mikrotechnik ist SF₆ ein Schlüsselmedium im sehr verbreiteten RIE Prozess (RIE-Prozess = Reactive Ion Etching). Weiterhin verwendet man SF₆ in großem Umfang als Schutzgas bei der technischen Erzeugung von Magnesium. Das spezifisch schwere SF₆ verhindert hier den Kontakt der heißen Metallschmelze mit der Luft. Prozessbedingt werden bei dieser Anwendung sehr große SF₆-Mengen in die Atmosphäre emittiert.

SF₆ ist das stärkste, bekannte Treibhausgas. Seine Treibhauspotenzial ist etwa 23.900 mal größer als das von CO₂.

Isostere von SF₆ sind z.B. die Kationen PF₆^-, SiF₆^2-. Zusatzinfo: Die Band 'Deichkind' hat es beim Auftritt des Bundesvision Songcontests 2005 benutzt um die natürliche Sprechstimme deutlich tiefer klingen zu lassen. Dazu haben die Bandmitglieder das Gas aus Luftballons inhaliert.
Bedenklich dabei ist das oben erwähnte riesige Treibhauspotential von Schwefelhexafluorid. Auch ist dies nicht ganz ungefährlich, da das Gas aufgrund seines hohen Gewichtes die Lungen bei aufrechter Körperhaltung nicht von selbst verlässt und dabei den Luftsauerstoff verdrängt.