Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien
| Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien | |
|---|---|
| Kategorie: | Forschungseinrichtung |
| Träger: | Fraunhofer-Gesellschaft |
| Rechtsform des Trägers: | Eingetragener Verein |
| Sitz des Trägers: | München |
| Standort der Einrichtung: | Dresden |
| Art der Forschung: | Angewandte Forschung |
| Fächer: | Ingenieurwissenschaften |
| Fachgebiete: | Halbleitertechnologie |
| Grundfinanzierung: | Bund (90%), Länder (10%) |
| Leitung: | Prof. Dr.Peter Kücher |
| Anmerkung: | Public Private Partnership |
| Homepage: | www.cnt.fraunhofer.de |
Das Fraunhofer-Center Nanoelektronische Technologien (CNT), kurz Fraunhofer CNT, ist eine Einrichtung der Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. (FhG) in Public Private Partnership. Mit den in der Halbleiterbranche führenden Herstellern für Speicher und Prozessoren, Qimonda AGund AMD Saxony Manufacturing GmbH) hat man am Standort Dresden eine gemeinsame Forschungseinrichtung auf den Weg gebracht. Ziel der neuen Einrichtung ist es schnelle und fertigungsnahe Lösungsansätze zu entwickeln, welche direkt in der Fertigung umgesetzt werden können. Das Fraunhofer CNT, welches am 31. Mai 2005 eröffnet wurde, steht unter der Leitung von Prof. Dr. Peter Kücher und ist Mitglied im Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE), dem elf Fraunhofer-Institute angehören.
Das Konzept - Public Private Partnership
Die Fraunhofer Gesellschaft und ihre Industriepartner etablierten in Dresden eine Forschungsplattform mit direkter Anbindung zu den weltweit führenden 300mm Fertigungslinien. In einer öffentlich privaten Partnerschaft betreibt sie den Reinraum und bringt über die Beteiligung anderer Institute, z.B. aus dem Verbund Mikroelektronik zusätzliches Know-how ein. Die Technische Universität Dresden ist als beratender Partner in der Kooperation beteiligt und arbeitet ebenso wie verschiedene europäische Universitäten und Forschungseinrichtungen u.a. CEA / Leti und IMEC als Partner in Projekten mit. Zu diesem Zweck betreibt das Fraunhofer CNT Reinraumflächen in der Nähe der Entwicklungs- und Fertigungslinie von Qimonda. Für Ihre Arbeiten stehen den Wissenschaftlern im Reinraumgebäude von Qimonda Dresden über 800m² Fläche der Klasse ISO6 bzw. ISO3 mit Mess- und Prozessgeräten zur Verfügung. Weiterhin können fast 170m² Laborflächen außerhalb des Reinraums genutzt werden. Kern des Konzepts ist es, teilprozessierte Wafer aus den Fertigungslinien der Industriepartner für die gemeinsame Forschung zu nutzen und damit die Investitionen für die Linie zu minimieren aber gleichzeitig ein schnelles Lernen für alle Beteiligten zu ermöglichen. Der Freistaat Sachsen und das Bundesministerium für Bildung und Forschung fördern die Einrichtung mit 80 Mio € für die Grundausstattung.
Forschungsschwerpunkte – ausgewählte Beispiele
Die Forschungsarbeiten im Fraunhofer CNT werden in 4 Kompetenzbereichen durchgeführt. In den entsprechenden Arbeitsgruppen bündelt sich das Wissen und technische Know-how der Wissenschaftler aus Industrie und Forschungseinrichtungen.
- Neue Materialien - Entwicklung und testen neuer Materialkombinationen und Schichtsysteme hinsichtlich bestimmter und vorgegebenen Eigenschaften
- Metrologie und Analytik - Screening neuer Methoden sowie Bestimmung von Schichtparametern und Eigenschaften Inline als auch im Labor anhand von vollständigen Wafern sowie an Bruchstücken.
- Innovative Prozesslösungen - Forschung und Entwicklung neuer Wege zur Umsetzung der Forschungsergebnisse in der Fertigung, ebenso anhand neuer Prozesstools.
- Schreiben von Teststukturen - Überprüfung der Funktionalität der Innovationen am Endprodukt.
Mitarbeiterentwicklung
Die Anzahl der beschäftigten Institutsmitarbeiter ist von Beginn kontinuierlich gestiegen. Zum Ende des Jahres 2007 bestand das Team des Fraunhofer CNT aus 28 Wissenschaftlern und 10 Mitarbeitern im Verwaltungs- und Managementbereich. Zusammen mit den Mitarbeitern die im Rahmen der Projekte durch die Industriepartner eingesetzt werden, sind zurzeit etwa 100 Beschäftigte im Rahmen der Projekte am Fraunhofer CNT tätig.
Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik (VµE)
Das Fraunhofer CNT ist Teil des Verbunds für Mikroelektronik VμE, welcher 11 Institute mit Forschungsaktivitäten im Bereich der Mikroelektronik vereint. Die Mitglieder des Verbundes profitieren von der breiten Technologiekompetenz und dem Produkt Know-how unter dem Dach der Fraunhofer Gesellschaft. Das Fraunhofer CNT ist dem Geschäftsfeld „More Moore and Beyond CMOS“ zuzuordnen. Ziel des Verbundes ist es sich in diesem Arbeitsbereich eine internationale Spitzenposition zu sichern um so die wirtschaftlichen Erfolge der Industrieauftraggeber sicherzustellen. Mit dem Center für Nanoelektronische Technologien bietet sich für die Fraunhofer-Gesellschaft eine neue, hervorragend ausgestattete Forschungs- und Entwicklungsplattform auf der Basis von 300mm Silizium-Wafern für die Zusammenarbeit mit IC Herstellern, die im Hochvolumen-Markt mit Bauelementen für Speicher oder Prozessoren tätig sind.