Stepper (Halbleitertechnik)

Als Stepper bezeichnet man in der Halbleiterindustrie verwendete Anlage, die mit Hilfe der Photolithografie mikrofeine Strukturen auf einen Wafer aufbringt. Hierbei wird ähnlich wie bei einem Dia-Projektor eine Vorlage, Maske - engl. Reticle genannt, von Licht durchschienen und auf eine lichtempfindliche Schicht (Photolack bzw. Resist) projiziert. Die Strukturen der Vorlage werden dabei stark verkleinert, so dass Linienbreiten bis hinunter auf 9 Nanometer erreicht werden. Ein Problem stellt besonders die hohe Positioniergenauigkeit (Overlay) unter dem Linsensystem dar.