Wolfhard Möller

Prof.Dr. Wolfhard Möller (* 1944) ist ein deutscher Physiker.

Lebenslauf

Wolfhard Möller studierte Physik in Göttingen, München und Bochum. An der Ruhr-Universität Bochum promovierte er 1975 und war dort, mit einer zweijährigen Unterbrechung (einem Forschungsaufenthalt an der Universität Aarhus (Dänemark)), bis 1980 wissenschaftlicher Assistent. Von 1981 bis 1993 war er wissenschaftlicher Angestellter und ab 1987 Projektleiter am Max-Planck-Institut für Plasmaphysik in Garching. In dieser Zeit habilitierte er 1982 und wurde 1988 zum außerplanmäßigen Professor an der Universität Bochum ernannt.

Seit 1993 ist er Direktor des Institutes für Ionenstrahlphysik und Materialforschung im Forschungszentrum Dresden-Rossendorf und Professor für Ionenstrahlphysik an der Technischen Universität Dresden.

Forschungsschwerpunkte

• Ionenstrahlanalytik
• Ionenstrahlmodifizierung von Metallen und Halbleitern
• ionen- und plasmagestützte Schichtabscheidung
• Plasma-Wand-Wechselwirkung
• Plasma-Immersions-Ionenimplantation und Computer-Simulation der Ionen-Festkörper-Wechselwirkung und der ionenunterstützten Schichtabscheidung