Ionenplattieren

Das Ionenplattieren (engl. ion plating) ist ein zu den PVD-Verfahren gehörende vakuumbasierte und plasmagestützte Beschichtungstechnik.

Grundlagen des Ionenplattierens

Unter "Plattieren" versteht man in der Metallbearbeitung das Aufbringen einer höherwertige Metallschicht auf ein anderes Metall. Beim Ionenplattieren geschieht dies nicht durch Angießen oder Aufschweißen sondern über eine plasmagestützte Methode.

Dabei wird zunächst die Substrat-Oberfläche mittels Ionenbeschuss aus dem Plasma gereinigt (ein sogennantes „soft etch“ per Sputtern). Anschließend wird aus einer Verdampfer-Quelle Metalldampf zugeführt. Dieser ionisiert teilweise im Plasma und wird durch eine negative Vorspannung (0,3 bis 5 kV) am meist vorgeheizten Substrat auf dessen Oberfläche beschleunigt und bildet auf dem Substrat eine Schicht des verdampften Materials. Durch den ständigen Beschuß mit Metallionen wird immer wieder ein Teil des Substrats bzw. der Schicht abgetragen (abgesputtert). Die gelösten Atome kondensieren wieder auf dem Substrat und tragen zur Schichtbildung bei.

Der ständige Ionenbeschuß modifiziert die Schichteigenschaften, so verbessert er meist die Haftung der Schicht. Die entstehende Schichtstruktur häng dabei stark von der Temperatur des Substrates ab.

Typische Arbeitdrücke für das Ionenplattieren liegen bei 5 Pa.

Varianten

Neben dem normalen Ionenplattieren gibt es noch eine reaktive Variante, das Reaktive Ionenplattieren (RIP). Dabei wird zusätzlich ein reaktives Gas in das Plasma eingebracht, das ebenfalls ionisiert, mit dem zerstäubten Metall reagiert und eine Schicht aus der entstehenden Verbindung bildet. Auf diese Weise werden z. B. Titannitrid-Schichten aus Titan-Dampf und eingeleitetem Stickstoff erzeugt.