Augerelektronenspektroskopie
Die Auger-Elektronen-Spektroskopie (AES, nach Pierre Auger) ist eine spektroskopische Methode, die auf dem Auger-Effekt (d. h. auf Analyse von aus einem Festkörper emittierten Elektronen) beruht.
Auger-Effekt
Der Auger-Effekt (entdeckt 1926 von Pierre Auger) ist ein strahlungsloser Übergang eines Elektrons in der Elektronenhülle eines Atoms.
Erhält ein relativ fest gebundenes Elektron aus einer der inneren Schalen durch ein Photon oder Elektron ausreichend Energie, wird es aus der Atomhülle herausgelöst (Ionisation). Der frei gewordene Platz wird aufgrund seiner niedrigen energetischen Lage durch ein Elektron aus einem höheren Energineveaus wieder belegt. Die dabei freiwerdende Energie wird aber nicht durch Emission eines Photons abgeführt, sondern auf ein anderes Elektron übertragen, das das Atom als Auger-Elektron verlässt.
Die Energie des ausgestrahlten Auger-Elektron ist von den Energieniveaus des beteiligten Atoms abhängig. Sie ergibt sich aus dem Energieniveau des ursprünglichen unbesetzten Zustands, dem Ausgangsniveau des Elektrons, das den Zustand füllt, sowie dem Ausgangsniveau des Augerelektrons.
Die möglichen Übergänge sind deswegen nach den beteiligten Elektronen benannt. Wird beispielsweise ein Elektron in der K-Schale herausgelöst, der freiwerdende Platz durch ein Elektron der L-Schale gefüllt und ein Elektron der M-Schale ausgestrahlt (siehe Abbildung), wird dieses Elektron als KLM-Auger-Elektron bezeichnet.
Der Auger-Effekt wird auch als innerer Photoeffekt bezeichnet. Dabei kann man sich vorstellen, dass zwar ein Röntgenphoton emittiert wird, aber im gleichen Atom sofort wieder absorbiert, was dann zur Emission des Auger-Elektrons führt. Dies ist aber nur eine Modellvorstellung, da der Auger-Effekt in Wirklichkeit ein strahlungsfreier Prozess ist, und somit die Auswahlregeln bei den Übergängen nicht berücksichtigt werden müssen.
Die Zahl der emittierten Auger-Elektronen hängt auch von der Ordnungszahl Z des untersuchten Elements ab. Am meisten Auger-Elektronen werden von sehr leichten Elementen emittiert, mit zunehmender Ordnungszahl wird dagegen hauptsächlich Röntgenstrahlung emittiert, so dass die chemische Analyse mit Auger-Elektronen-Spektroskopie auf leichtere Elemente beschränkt ist.
Auger-Elektronen-Spektroskopie
Die Auger-Elektronen-Spektroskopie ist aufgrund der geringen Reichweite von Elektronen im relevanten Energiebereich (ca. 50 eV bis 3 keV) eine sehr oberflächenspezifische Methode. Die erfasste Materialschicht umfasst typischerweise nur die obersten zehn Atomlagen. Das Verfahren kann daher sehr effizient zur örtlich hochauflösenden (0,01 µm - 100 µm) Detektierung von Verunreinigungen benutzt werden. Soll dagegen wirklich das reine Material erfasst werden und nicht unabsichtlich aufgebrachte Verunreinigungen, die bei der Probenpräparation entstanden sind, so müssen diese zum Beispiel durch Sputtern mit Argon entfernt werden.
Mit einem Auger-Elektronen-Spektroskop können auch Bilder von der Art eines Rasterelektronenmikroskops(REM) erzeugt werden. Hierfür ist ein Sekundär-Elektronen-Detektor nötig, der die Sekundär-Elektronen in ein REM-Bild umwandelt. So lässt sich eine vergleichbare Auflösung wie bei einem "gewöhnlichen" REM erzielen. Neben dieser Funktion kann man zur Bild-Erstellung auch noch den AES Detektor nutzen. So lassen sich Bilder aufnehmen, die eine Materialinformation tragen. Dieses Verfahren nennt sich Scanning-Auger-Microscopie (SAM).
Die Nachweisgrenze mit diesem Verfahren liegt bei ca. 0,01-0,1 at%. Erst ab diesem Wert lässt sich der AES-Peak auswerten.
Auch bei der Photoelektronenspektroskopie treten Auger-Elektronen auf. Die durch den Auger-Effekt verursachten Peaks unterscheiden sich dadurch von den "Photopeaks", dass ihre Energie nicht von der des eingestrahlten Ultraviolett- oder Röntgenlichts abhängt.