Mikrosystemtechnik

Die Mikrosystemtechnik (MST) bearbeitet Strukturen im Mikrometerbereich, im Gegensatz zur Nanotechnik. Sie vereinigt Mikroelektronik, Mikromechanik und Mikrooptik unter sich indem sie Strukturen aus diesen Bereichen zu neuen Systemen vereinigt. Prominentes Beispiel sind die Bubble-Jet Druckköpfe moderner Drucker, die mikrometerfeine Düsen mit Heizelementen kombinieren, zum Teil sogar mit eigener Intelligenz im Druckkopf.

MST beschäftigt sich mit dem Entwurf und der Herstellung von mikroelektronischen Schaltungen und mikromechanischer und mikrooptischer Bauelemente in Halbleitermaterialien wie kristallinem Silizium oder Gallium-Arsenid. Auch die Bearbeitung anderer Materialien wie Kunststoff im Mikrometermaßstab ist Thema der MST, beispielsweise die Herstellung mikromechanischer Strukturen in der LIGA-Technik.

In englischsprachigen Ländern werden die Mikrosysteme oft MicroElectroMechanical Systems (MEMS) genannt.