Vakuumflansche dienen der lösbaren Verbindung von Vakuumgefäßen. Je nach Anforderung bezüglich Dichtigkeit, Ausheizbarkeit, Stabilität, Korrosionsfestigkeit und Durchmesser stehen verschiedene genormte Teile zur Verfügung.
Arten von Flanschen
Kleinflansche
Kleinflansch-Schnellverbindungen („ISO-KF“) sind in den Nennweiten 10, 16, 20, 25, 32, 40 und 50 erhältlich und die am häufigsten eingesetzten Verbindungen im Grob- und Feinvakuumbereich. Die Nennweiten 10, 16, 25 und 40 sind die sogenannten Vorzugsnennweiten gemäß ISO-Empfehlung. Die beiden zu verbindenden Kleinflansche werden durch einen O-Ring mit Außen- oder Innenzentrierring abgedichtet und durch einen Spannring bzw. Schnellspannring zusammengepresst. Als Dichtungsmaterial kommt meistens ein Elastomer wie Perbunan, Neopren oder Viton zum Einsatz, für besondere Anforderungen können auch Metalldichtungen eingesetzt werden.
Klammerflansche
Klammerflansch-Verbindungen („ISO-K“) werden ähnlich wie KF-Verbindungen eingesetzt, hier wird jedoch die Zusammenpressung durch Klammerschrauben oder Überwurfflansche erreicht.
CF-Flansche
CF-Flansche basieren auf den CONFLAT-Flanschen der Firma Varian. Sie werden für Verbindungen von UHV-Bauteilen genutzt, die Flansche bestehen aus Edelstahl, das Dichtmaterial ist meist Kupfer. Die Flansche sind mit Schneidkanten ausgerüstet die beim Anziehen der Verbindung ein Stückweit in das Dichtmaterial hineingepresst werden und hierdurch abdichten. Metallische Dichtringe können durch die bleibende Verformung nur einmal eingesetzt werden. Für provisorische Aufbauten können jedoch auch Elastomerdichtungen eingesetzt werden. Vorteil der CF-Verbindungen ist die hohe Ausheizbarkeit sowie die guten Dichtwerte.
Durchführungen
Eine häufig genutzte Art des (Blind-) Flansches ist die Durchführung. Diese dient dem Aufbau verschiedener, für den Prozess oder das Experiment nötiger Verbindungen wie Spannungsversorgung, Versorgung mit Gasen, Kühlflüssigkeiten, der Durchführung von Messsignalen aus dem Vakuumgefäß oder der mechanischen Manipulation von Aufbauten im Vakuum.