Maskenprogrammierung bezeichnet das Erzeugen des vom Anwender gewünschten Speicherinhalts eines ROM mittels einer oder mehrerer Maskendurch den ROM-Hersteller. Je nach Aufbau der Speicherzelle eines ROM erfolgt die Programmierung entweder über die letzte Verdrahtungsmaske (Metallisierung), über Masken zum Einstellen der Dicke des Gateoxids oder über Ionenimplantation. Das ist nur kostengünstig möglich, wenn ein hoher Bedarf an ROM mit gleichem Speicherinhalt besteht. Im Gegensatz zu den maskenprogrammierten ROM gibt es auch vom Anwender selbsi programmierbare Halbleiter-Festwertspei eher, wie PROM, EPROM unc E2PROM.