Die Interferenzreflexionsmikroskopie ist eine spezielle Form der Mikroskopie. Durch die Auflichtbeleuchtung mit monochromatischem Licht entstehen bei sehr dünnen Präparaten (die Dicke muss im Bereich der Wellenlänge des Lichtes sein) sichtbare Interferenzringe. Unter Berücksichtigung der Interferenzringe bei Licht mit unterschiedlicher Wellenlänge lassen sich aus den Abständen der Ringe Rückschlüsse auf das Höhenprofil des Präparates ziehen.