MEMS steht für Micro-Electro-Mechanical System. Es ist die Kombination aus mechanischen Elementen, Sensoren, Aktoren und elektronischen Schaltungen auf einem Substrat bzw Chip. siehe auch (SoC System on Chip)
MEMS basieren auf der Halbleiter-Elektronik. Grundmaterial (Substrat) ist in der Regel ebenfalls Silizium. Die Mikroelektronik beschränkt sich auf elektrische Komponenten wie Transistoren(CPU) und Kondensatoren(RAM). Die Mikrosystemtechnik erweitert diese Palette um mechanische, optische, chemische und/oder biologische Komponenten.