Rutherford Backscattering Spektrometry (RBS) ist eine Methode der Ionenstrahlanalytik. Man schießt Ionen auf ein Target und misst ihren Rückstreuwinkel. Daraus können Rückschlüsse auf das Material gezogen werden, da die Rutherford-Streuung und ihr Streuquerschnitt recht gut verstanden sind.
Bekannt ist vor allem der Goldfolien-Versuch von Ernest Rutherford, mit dem er sein berühmtes Atommodell entdeckte.