Dotierung
Einbringung einer geringen Menge von Fremdatomen in Halbleiterkristalle
Eine Dotierung oder das Dotieren (v. lat.: dotare ausstatten) ist
- die Festlegung einer bestimmten Geldsumme als Entgelt oder bei einer Preisverleihung
- in der Elektronik bei der Chipherstellung das Einbringen (Implantation) von Fremdatomen in eine Schicht oder ins Grundmaterial eines elektronischen Bauteiles oder eines integrierten Schaltkreises. Dies verändert gezielt die Eigenschaften dieser Schicht, meistens die Leitfähigkeit oder die Kristallinität(Damageimplantation).
Typische Dotierstoffe für Silizium-Schichten sind:
und seit neustem auch