Sekundärelektronenemission

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Sekundärelektronenemission ist in der Oberflächenphysik eine Bezeichnung für die durch primäre Teilchen induzierte Emission von Elektronen. Auslöser für die Sekundäremission sind häufig Elektronen oder Ionen.

Die Energieverteilung und Emissionsrate der Sekundärelektronen lässt Rückschlüsse auf die Oberflächenbeschaffenheit zu.

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