Auch Ionisations-Vakuummeter; das Prinzip basiert auf einer indirekten Druckmessung elektrischer Größen, die zu den Restgaspartikeln mit der Teilchenzahldichte proportional sind. Dazu wird das Restgas ionisiert. Davon gibt es eine Reihe unterschiedlicher Ausführungen:
- Glühkathoden-Ionisationsvakuummeter (Bayard-Alpert-Vakuummeter, Extraktor-Ionisationsvakkummeter, Orbitron-System mit besonders langen Elektronenwegen, Magnetron-Vakuummeter etc.)
- Kaltkathoden-Ionisationsvakuummeter (Penning-Vakuummeter, Magnetron-Systeme ...)
Für Details siehe z.B. Wutz, Adam, Walcher: Theorie und Praxis der Vakuumtechnik, Vieweg-Verlag.
